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杭州光尺激光平直度測(cè)量?jī)xPSD信息
點(diǎn)擊次數(shù):44 更新時(shí)間:2025-07-25 打印本頁(yè)面 返回

PSD(位置敏感探測(cè)器)概述

PSD 是一種基于光電效應(yīng)的光學(xué)傳感器,核心功能是實(shí)時(shí)測(cè)量光點(diǎn)在探測(cè)面上的連續(xù)位置坐標(biāo)(如 X、Y 軸坐標(biāo)),廣泛應(yīng)用于位移檢測(cè)、角度測(cè)量、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域。

PSD 的結(jié)構(gòu)組成

根據(jù)描述,其基本結(jié)構(gòu)包括:

P 襯底:作為探測(cè)器的基底,提供結(jié)構(gòu)支撐和電學(xué)連接基礎(chǔ)。

PIN 光電二極管:核心感光元件,當(dāng)光照射時(shí),光子能量激發(fā)電子 - 空穴對(duì),形成光電流,實(shí)現(xiàn)光信號(hào)到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。

表面電阻:通常為均勻分布的電阻層(如 N 型半導(dǎo)體薄層),光電流會(huì)沿電阻層向兩端電極流動(dòng),其電流分配與光點(diǎn)位置直接相關(guān),通過(guò)測(cè)量電極電流即可計(jì)算光點(diǎn)坐標(biāo)。

PSD 與 CCD 的核心差異及優(yōu)勢(shì)

CCD(Charge-Coupled Device,電荷耦合器件)是另一種常見(jiàn)的光學(xué)探測(cè)器,二者的核心區(qū)別體現(xiàn)在原理和性能上,PSD 的優(yōu)勢(shì)包括:

位置分辨率高:

PSD 通過(guò)電阻層的電流分布直接計(jì)算位置,理論分辨率可達(dá)納米級(jí);而 CCD 依賴(lài)像素陣列,分辨率受限于像素尺寸和數(shù)量。

光譜響應(yīng)寬:

可響應(yīng)從紫外到紅外的較寬光譜范圍,適用場(chǎng)景更廣泛;CCD 的光譜響應(yīng)通常受限于感光材料(如硅基 CCD 在紅外波段響應(yīng)較弱)。

響應(yīng)速度快:

光電流的產(chǎn)生和傳輸幾乎無(wú)延遲,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)微秒甚至納秒級(jí);CCD 需要電荷轉(zhuǎn)移和讀出過(guò)程,響應(yīng)速度較慢。

位置信號(hào)與光斑形狀無(wú)關(guān):

只要光斑能量集中在探測(cè)面上,即使形狀不規(guī)則(如彌散、畸變),也能準(zhǔn)確輸出位置信息;而 CCD 的位置測(cè)量依賴(lài)光斑在像素上的能量分布,易受形狀影響。

PSD 的典型應(yīng)用

由于上述特性,PSD 常用于對(duì)實(shí)時(shí)性、精度要求高的場(chǎng)景:

精密位移 / 振動(dòng)監(jiān)測(cè)(如機(jī)床校準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)變形測(cè)量)

光學(xué)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)(如激光準(zhǔn)直、望遠(yuǎn)鏡調(diào)焦)

機(jī)器人視覺(jué)導(dǎo)航(如通過(guò)光斑定位實(shí)現(xiàn)路徑跟蹤)

生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)(如微小物體運(yùn)動(dòng)軌跡記錄)

PSD 的局限性在于無(wú)法直接獲取光斑的灰度或圖像信息(僅輸出位置坐標(biāo)),因此需根據(jù)具體需求與 CCD 等探測(cè)器配合使用。


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